星奇申请用于半导体加热带的颗粒测试系统及方法专利提升颗粒值测试数据的准确性

　　国家知识产权局信息显示，星奇（上海）半导体有限公司申请一项名为“一种用于半导体加热带的颗粒测试系统及方法”的专利，公开号CN121476281A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明涉及用于半导体加热带的颗粒测试系统，包括：测试环境箱体、尘埃粒子计数仪、风机过滤机组、探头支架、探头、置物支架；测试环境箱体的一个侧壁上设有通风口，风机过滤机组与所述尘埃粒子计数仪被配置为：在尘埃粒子计数仪抽取测试环境箱体内的空气进行检测时，风机过滤机组通过通风口向测试环境箱体内补充洁净空气，将测试环境箱体内含有颗粒的空气下压至所述探头的入口处。本发明通过测试环境箱体上设置通风孔，配合风机过滤机组以补充测试环境箱体内洁净空气，使得待测加热带加热升温过程在测试环境箱体中模拟进行，通过对比加热带升温前后分别采用尘埃粒子计数仪测试测试环境箱体内环境颗粒值，提升颗粒值测试数据的准确性。

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